REVASUM (ASX: RVS) は、韓国天安市の炭化ケイ素基板製造技術大手企業である SENIC から 6EZ 炭化ケイ素 CMP システムを購入する意向表明書を確保

Sep 07, 2023

カリフォルニア州サンルイスオビスポ、2023年7月28日 /PRNewswire/ -- 2023年第4四半期にSenicに出荷されるこの計画された購入は、炭化ケイ素をサポートするために利用できる最も柔軟な化学機械研磨（CMP）プラットフォームとしての6EZの地位を強化することになります。 (SiC) 基板の製造および SiC ベースの MOSFET などのデバイスの製造。

6EZ の 200mm 変換キットの最近のリリースにより、このツールは韓国の天安市にある Senic 施設での 150mm および 200mm SiC 基板の製造をサポートできるようになります。

6EZ CMP システムは、研削プロセスによる表面下の損傷を除去するために、Revasum の 7AF-HMG SiC 研削盤を使用して開発されました。 6EZ は、ウェーハ全体の全厚さの変動 (TTV) を最小限に抑え、表面粗さ (RA) を 1.5 オングストローム程度に抑えます。

Revasumのワールドワイドセールスおよびマーケティング担当副社長であるクリス・スローン氏は、この韓国の戦略的顧客との提携関係の発展について次のようにコメントし、「これは、炭化ケイ素基板の製造における真の世界的な状況において、Revasumにとって重要な次のステップとなる。シリコンの需要は、超硬デバイスの登場により、国際的なサプライチェーンはこの取り組みを支援するために連携する必要が生じており、業界をリードする当社の 6EZ CMP プラットフォームにより、Senic の革新的なチームとパートナーシップを確立できることに興奮しています。」

Senicのウェーハ事業部門副社長のJD Seo氏は次のように述べています。「この提携により両社の間にプラスの相乗効果が生み出され、Revasumの6EZ CMPシステムを通じてSenicはより優れた表面品質のSiCウェーハを顧客に提供できるようになると信じています」 6EZ はすでに炭化ケイ素基板の製造においてその実力を証明しており、世界的な業界の需要を満たすために生産を拡大する際には、6EZ システムが Senic にとって最良の選択肢であると考えています。」

Revasum, Inc. について:Revasum (https://www.revasum.com) は、半導体製造に使用される資本設備を製造しています。当社の現在の製品ポートフォリオには、世界の半導体産業向けの炭化ケイ素基板およびデバイスの製造に使用される研削および化学機械研磨装置が含まれています。

SENIC, Inc. について:SENIC (http://www.senic.co.kr) は、韓国の天安に拠点を置く世界的な炭化ケイ素ウェーハ製造のイノベーターです。同社は、RF およびパワーエレクトロニクス用の 150 mm および 200 mm 炭化ケイ素 (SiC) インゴットと基板、および SiC ウェーハ再生サービスを提供しています。

メディア連絡先:Bruce [email protected]

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出典：Revasum